微細パターン倒壊防止には、超臨界CO2乾燥が有望。(MEMSなど)
いよいよパワーLSI用にSiCウエハ採用(量産開始)の動きが活発化。
SiCウエハーの販売開始TankeBLue社(タンケブルー社)製SiCウエハー、パワーLSI,LED用として注目。
2012年3月
SiCウエハの再生処理を開始しました。お客様が使用ずみのSiCウエハを再利用可能にします。
2012年1月
SiCウエハ上への成膜(各種膜)や薄厚化(200μm)処理、ダイシングを行っております。
2010年8月
LED/光学用の単結晶サファイアウエハ販売開始
2010年7月1日
単結晶SiCインゴットの販売を開始しました。2インチ、3インチ。
TankeBLue社(タンケブルー社)製 SiCウエハーの4インチ販売開始しました。
・いよいよ、パワーLSI用にSiCウエハ量産化が近づいて来ました。SiCウエハ薄厚化など後工程の動き活発化。 ・洗浄等Wet処理のプロセス技術や装置のプロ集団です。お気軽にご連絡をお待ちしております。
・いよいよ、パワーLSI用にSiCウエハ量産化が近づいて来ました。SiCウエハ薄厚化など後工程の動き活発化。
・洗浄等Wet処理のプロセス技術や装置のプロ集団です。お気軽にご連絡をお待ちしております。