よくある質問

みなさまからよく寄せられる質問にお答えしています。

洗浄装置に関するご質問と回答

①サンプル評価を行いたい
・デモ実施は可能です。事前に、打ち合わせを行い、デモ詳細を決定します。環境上、使用できない薬液があるため、薬液種類、温度の情報が必要です。
②洗浄装置の評価のために装置貸し出しは可能か
・内容詳細を聞いたうえで対応させていただきます。
③洗浄装置で使用できる薬液なにか
・薬液と接する箇所が、耐熱性、耐薬液製の樹脂であり、ほとんどの薬液は使用可能である。しかし、可燃性薬液などの取り扱いは困難な場合があるので事前に、詳細情報が必要です。
④洗浄装置の清浄度はどのくらいか
最先端(25ナノメートルノード)に対応可能なパーティクル数が少ない(サンプル処理後)。洗浄装置内はクラス1以下です。
⑤できるだけ安価な装置が欲しい
顧客様毎に装置構成をMTKが設計する為、基本的には、安価でしかも、サイズの小さな装置製造を設計させていただきます。
⑥装置の納期はどのくらい
通常は2.5か月~4か月である。ただし、仕様により納期は異なります。
⑦サポート体制は大丈夫か
24時間対応できる体制を構築できております。営業顧客窓口は金沢機工(株)、製造、アフターサポートは(株)シナノ精機、装置設計、アフターサポートに関しては弊社MTKにて対応いたします。
⑧装置を見学したい
可能です。希望内容を御一報願います。
⑨生産性を大きくしたいのでチャンバー数を2個以上にしたい
最大4チャンバーまでなら製造可能である。
⑩オプションとして2流体ジェットや超音波ノズル、ブラシを取り付けることは可能か
問題ございません。対応可能です。
⑪消耗品は何か
消耗パーツは1年間ごとに交換するフィルターとウエハ搬送ピンのみである。
⑫装置は故障はしないか
全て日本製パーツを使用しており、安心して使いいただけます。
⑬2インチ、3インチのような小口径サンプルは製造可能か
対応可能である。しかも、装置サイズは非常に小さくなります。
⑭角型基板は対応可能か
基本的には対応可能です。
⑮装置価格は
仕様をお聞かせいただきました後、1週間程度で見積もりを提出させていただきます。 ちなみに、他社装置に比較して、安価で、サイズがコンパクトな装置となっております。
⑯用途は何か
半導体。センサー。MEMS。ハードディスク。ウエハー製造用。LED用。

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みなさまからよく寄せられる質問にお答えしています。

オゾン水生成装置に関するご質問と回答

①サンプル評価を行いたい
・デモ実施は可能です。事前に、打ち合わせを行い、デモ詳細を決定します。
②オゾン水生成機器の評価のために機器貸し出しは可能か
・内容詳細を聞いたうえで対応させていただきます。
③用途は何か
半導体。センサー。MEMS。ハードディスク。ウエハー製造用。LED用。
④オゾン水の最高濃度と流量はどのくらいか
オゾン濃度の最高は30ppmです。最高流量は50L/minです。この値を超える場合には、ご相談上、対応可能か否かを検討させていただきます。
⑤できるだけ安価な装置が欲しい
弊社機器は基本的に、他社製に比較して、安価でしかも、サイズもコンパクトです。
⑥装置の納期はどのくらい
通常は1.5か月~2.5か月である。ただし、仕様により納期は異なります。
⑦サポート体制は大丈夫か
24時間対応できる体制を構築できております。
⑧装置を見学したい
可能です。希望内容を御一報願います。
⑨消耗品は何か
オゾン水濃度計紫外線ランプ(1年毎)、廃オゾンガス分解器触媒交換(1年毎)、ファンフィルター(半年毎)など。
⑩装置は故障はしないか
殆ど日本製パーツを使用しており、安心して使いいただけます。 納入実績多数であり、ご安心願います。
⑪装置価格は
仕様をお聞かせいただきました後、1週間程度で見積もりを提出させていただきます。 ちなみに、他社装置に比較して、安価で、サイズがコンパクトな装置となっております。

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