みなさまからよく寄せられる質問にお答えしています。

洗浄装置に関するご質問と回答

①サンプル評価を行いたい

・デモ実施は可能です。事前に、打ち合わせを行い、デモ詳細を決定します。環境上、使用できない薬液があるため、薬液種類、温度の情報が必要です。

②洗浄装置の評価のために装置貸し出しは可能か

・内容詳細を聞いたうえで対応させていただきます。

③洗浄装置で使用できる薬液なにか

・薬液と接する箇所が、耐熱性、耐薬液製の樹脂であり、ほとんどの薬液は使用可能である。しかし、可燃性薬液などの取り扱いは困難な場合があるので事前に、詳細情報が必要です。

④洗浄装置の清浄度はどのくらいか

・最先端（25ナノメートルノード）に対応可能なパーティクル数が少ない（サンプル処理後）。洗浄装置内はクラス1以下です。

⑤できるだけ安価な装置が欲しい

・顧客様毎に装置構成をMTKが設計する為、基本的には、安価でしかも、サイズの小さな装置製造を設計させていただきます。

⑥装置の納期はどのくらい

・通常は2.5か月～4か月である。ただし、仕様により納期は異なります。

⑦サポート体制は大丈夫か

・24時間対応できる体制を構築できております。営業顧客窓口は金沢機工(株)、製造、アフターサポートは(株)シナノ精機、装置設計、アフターサポートに関しては弊社MTKにて対応いたします。

⑧装置を見学したい

・可能です。希望内容を御一報願います。

⑨生産性を大きくしたいのでチャンバー数を2個以上にしたい

・最大4チャンバーまでなら製造可能である。

⑩オプションとして2流体ｼﾞｪｯﾄや超音波ノズル、ブラシを取り付けることは可能か

・問題ございません。対応可能です。

⑪消耗品は何か

・消耗パーツは1年間ごとに交換するフィルターとウエハ搬送ピンのみである。

⑫装置は故障はしないか

・全て日本製パーツを使用しており、安心して使いいただけます。

⑬2インチ、3インチのような小口径サンプルは製造可能か

・対応可能である。しかも、装置サイズは非常に小さくなります。

⑭角型基板は対応可能か

・基本的には対応可能です。

⑮装置価格は

・仕様をお聞かせいただきました後、1週間程度で見積もりを提出させていただきます。 ちなみに、他社装置に比較して、安価で、サイズがコンパクトな装置となっております。

⑯用途は何か

・半導体。センサー。MEMS。ハードディスク。ウエハー製造用。LED用。

オゾン水生成装置に関するご質問と回答

①サンプル評価を行いたい

・デモ実施は可能です。事前に、打ち合わせを行い、デモ詳細を決定します。

②オゾン水生成機器の評価のために機器貸し出しは可能か

・内容詳細を聞いたうえで対応させていただきます。

③用途は何か

・半導体。センサー。MEMS。ハードディスク。ウエハー製造用。LED用。

④オゾン水の最高濃度と流量はどのくらいか

・オゾン濃度の最高は30ppmです。最高流量は50L/minです。この値を超える場合には、ご相談上、対応可能か否かを検討させていただきます。

⑤できるだけ安価な装置が欲しい

・弊社機器は基本的に、他社製に比較して、安価でしかも、サイズもコンパクトです。

⑥装置の納期はどのくらい

・通常は1.5か月～2.5か月である。ただし、仕様により納期は異なります。

⑦サポート体制は大丈夫か

・24時間対応できる体制を構築できております。

⑧装置を見学したい

・可能です。希望内容を御一報願います。

⑨消耗品は何か

・オゾン水濃度計紫外線ランプ(1年毎）、廃オゾンガス分解器触媒交換（1年毎）、ファンフィルター（半年毎）など。

⑩装置は故障はしないか

・殆ど日本製パーツを使用しており、安心して使いいただけます。 納入実績多数であり、ご安心願います。

⑪装置価格は

・仕様をお聞かせいただきました後、1週間程度で見積もりを提出させていただきます。 ちなみに、他社装置に比較して、安価で、サイズがコンパクトな装置となっております。

SiCウエハ、インゴットに関するご質問と回答

①SiCウエハの表裏の判断方法

・裏面オリフラ側にウエハIDがレーザーマーキングされております。

②ウエハ梱包状態

・シングルウエハケースにて1枚ずつ梱包されております。

③8インチSiCウエハについて

・現在メーカーにて開発中です。

④4°オフとは

・エピタキシャル成長がしやすいように、ウエハの結晶方位を4°傾けております。

⑤ポリタイプ3C、6Hは販売しておりますか

・4Hの販売に限ります。

⑥グレードとは

・結晶欠陥の1つのマイクロパイプの数量によってグレードが分かれております。プライム、プロダクション、ダミーグレード。

GaN基盤に関するご質問と回答

①梱包状態はどのようになっていますか

・ウエハはシングルウエハケース、チップはチップケースに梱包されております。

②テンプレートとは

・サファイアウエハの上に単結晶GaNを積層しております。