みなさまからよく寄せられる質問にお答えしています。
洗浄装置に関するご質問と回答
- ①サンプル評価を行いたい
- ・デモ実施は可能です。事前に、打ち合わせを行い、デモ詳細を決定します。環境上、使用できない薬液があるため、薬液種類、温度の情報が必要です。
- ②洗浄装置の評価のために装置貸し出しは可能か
- ・内容詳細を聞いたうえで対応させていただきます。
- ③洗浄装置で使用できる薬液なにか
- ・薬液と接する箇所が、耐熱性、耐薬液製の樹脂であり、ほとんどの薬液は使用可能である。しかし、可燃性薬液などの取り扱いは困難な場合があるので事前に、詳細情報が必要です。
- ④洗浄装置の清浄度はどのくらいか
- 最先端（25ナノメートルノード）に対応可能なパーティクル数が少ない（サンプル処理後）。洗浄装置内はクラス1以下です。
- ⑤できるだけ安価な装置が欲しい
- 顧客様毎に装置構成をMTKが設計する為、基本的には、安価でしかも、サイズの小さな装置製造を設計させていただきます。
- ⑥装置の納期はどのくらい
- 通常は2.5か月～4か月である。ただし、仕様により納期は異なります。
- ⑦サポート体制は大丈夫か
- 24時間対応できる体制を構築できております。営業顧客窓口は金沢機工(株)、製造、アフターサポートは(株)シナノ精機、装置設計、アフターサポートに関しては弊社MTKにて対応いたします。
- ⑧装置を見学したい
- 可能です。希望内容を御一報願います。
- ⑨生産性を大きくしたいのでチャンバー数を2個以上にしたい
- 最大4チャンバーまでなら製造可能である。
- ⑩オプションとして2流体ｼﾞｪｯﾄや超音波ノズル、ブラシを取り付けることは可能か
- 問題ございません。対応可能です。
- ⑪消耗品は何か
- 消耗パーツは1年間ごとに交換するフィルターとウエハ搬送ピンのみである。
- ⑫装置は故障はしないか
- 全て日本製パーツを使用しており、安心して使いいただけます。
- ⑬2インチ、3インチのような小口径サンプルは製造可能か
- 対応可能である。しかも、装置サイズは非常に小さくなります。
- ⑭角型基板は対応可能か
- 基本的には対応可能です。
- ⑮装置価格は
- 仕様をお聞かせいただきました後、1週間程度で見積もりを提出させていただきます。 ちなみに、他社装置に比較して、安価で、サイズがコンパクトな装置となっております。
- ⑯用途は何か
- 半導体。センサー。MEMS。ハードディスク。ウエハー製造用。LED用。
みなさまからよく寄せられる質問にお答えしています。
オゾン水生成装置に関するご質問と回答
- ①サンプル評価を行いたい
- ・デモ実施は可能です。事前に、打ち合わせを行い、デモ詳細を決定します。
- ②オゾン水生成機器の評価のために機器貸し出しは可能か
- ・内容詳細を聞いたうえで対応させていただきます。
- ③用途は何か
- 半導体。センサー。MEMS。ハードディスク。ウエハー製造用。LED用。
- ④オゾン水の最高濃度と流量はどのくらいか
- オゾン濃度の最高は30ppmです。最高流量は50L/minです。この値を超える場合には、ご相談上、対応可能か否かを検討させていただきます。
- ⑤できるだけ安価な装置が欲しい
- 弊社機器は基本的に、他社製に比較して、安価でしかも、サイズもコンパクトです。
- ⑥装置の納期はどのくらい
- 通常は1.5か月～2.5か月である。ただし、仕様により納期は異なります。
- ⑦サポート体制は大丈夫か
- 24時間対応できる体制を構築できております。
- ⑧装置を見学したい
- 可能です。希望内容を御一報願います。
- ⑨消耗品は何か
- オゾン水濃度計紫外線ランプ(1年毎）、廃オゾンガス分解器触媒交換（1年毎）、ファンフィルター（半年毎）など。
- ⑩装置は故障はしないか
- 殆ど日本製パーツを使用しており、安心して使いいただけます。 納入実績多数であり、ご安心願います。
- ⑪装置価格は
- 仕様をお聞かせいただきました後、1週間程度で見積もりを提出させていただきます。 ちなみに、他社装置に比較して、安価で、サイズがコンパクトな装置となっております。
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