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セミコンJapanに出展します

2015年12月11日

12/16から東京ビックサイトで開催されるセミコンJapanに、出展します。是非、ブースにお立寄り下さい。

今回は、洗浄装置、オゾン水生成機器、単結晶SiCウエハ・インゴットを展示します。

ブース番号は東棟5329です。金沢機工(株)さんとの共同出展です。

洗浄装置はコンパクトで高性能である特徴があります。

オゾン水生成機器は、これもコンパクトで、使いやすいものです。有機物やパーティクル除去に効果があります。

単結晶SiCは次世代のパワーLSI材料として期待されております。今回は、大口径な6インチサイズのウエハとインゴットを展示します。