セミコンJapanに出展します
2015年12月11日
12/16から東京ビックサイトで開催されるセミコンJapanに、出展します。是非、ブースにお立寄り下さい。
今回は、洗浄装置、オゾン水生成機器、単結晶SiCウエハ・インゴットを展示します。
ブース番号は東棟5329です。金沢機工(株)さんとの共同出展です。
洗浄装置はコンパクトで高性能である特徴があります。
オゾン水生成機器は、これもコンパクトで、使いやすいものです。有機物やパーティクル除去に効果があります。
単結晶SiCは次世代のパワーLSI材料として期待されております。今回は、大口径な6インチサイズのウエハとインゴットを展示します。