4H-N。6H-N。3C-N。ポリタイプ 4マイクロパイプ等の欠陥タイプ オフ角度 SiCウエハ サファイアウエハ ベルヌイチャック 4H-N。6H-N。3C-N。ポリタイプ 炭化ケイ素（SiC)は、単結晶でありながら、 … 続きを読む 用語辞典