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SiC洗浄装置

2015年11月1日

今年は洗浄装置の引き合いが増えてきていて、嬉しい状況ですね。特に、単結晶SiCの問い合わせが増えていますね。MTKの洗浄装置は高性能でコンパクトであるのが好評です。ウエハ、基板の両面を同時に洗浄で出来たり、非接触式ベルヌイチャックもオプション出来たり、技術力には定評があります。デモサンプル処理も可能なので是非御連絡をいただければと思います。また、海外からも問い合わせがあり、装置導入の実績もあります。日本と文化が違うのか、価格よりも、とにかく早く納入してほしいと納期に厳しいですね。エピ膜関係の会社のニーズが多いですね。