ニュース

6インチ4H-NタイプSiCウエハプロダクショングレードは製造元の北京タンケブルー社の歩留向上により在庫限りで生産終了となります。

代替品はプライムグレードですが、ダミーグレードもほとんどMPDが0個ですのでこちらもご利用ください。

製造元のタンケブルー社にて製品歩留まり向上のため4インチ4H-Nタイププロダクショングレードの生産を終了いたしました。代替品は上級グレードのZMPグレードとなります。ダミーグレードは引き続き提供可能です。

枚様スピン式レジスト剥離装置は従来バス式装置よりもパーティクル除去性能が優れます。高温に加熱されたSPM液をウエハへ吐出する事によりレジスト剥離を行います。

LSI歩留り向上の為に、剥がれ易いウエハ裏面とベベル膜をエッチング除去してパーティクル対策を行います。ウエハ表面に形成されたLSIパターン面はベルヌイチャックと窒素ガスにより薬液に当たることなく守られます。

TankeBlue社製SiCウエハ4インチ4H-Nタイプダミーグレードが本日30枚入荷いたしました。ご用命後3日以内に発送させていただきますので即日ご利用の方はお問い合わせページよりご連絡ください。マイクロパイプ数の実数も良好ですので研究開発を始めとしたユーザー様へ最適です。

製品ページhttps://www.mtk-2.com/product-info/sic_wafer.html

最新在庫ページhttps://www.mtk-2.com/stock-list.html#link01

弊社SiC基板仕入れ先の北京タンケブルー社は10月1日～7日の中国国慶節の為、通常納期プラス1～2週間納期をいただく場合がございますことお知らせいたします。

※SiCインゴットについても同様

いつもご利用いただいておりますお客様、新規のお客様が少しでもお問い合わせのお時間を少なくしようと考えまして、SiCウエハ、SiCインゴット、GaN基板の在庫表を新設いたしました。

MTK社の特徴であります高コストパフォーマンスな製品をセミコンJapan2016に出展いたします。是非、ブースへお立ち寄りください。

【展示製品】

・枚葉式Wet処理装置（エッチング、洗浄など）

　　　高性能でありながら低価格な装置です。更に、サイズがコンパクトなので小スペースなエリアに有利です。

・オゾン水生成機器

　　　有機物、金属、パーティクル除去には有効です。薬品代替な可能なコストパフォーマンスに優れています。

　　　オゾン水濃度は１０～８０ｐｐまで対応。

・単結晶SiC製品

　　　大口径6インチのSiCウエハ、SiCインゴット。SiCデバイスの開発用・量産用にお試しください。

ベルヌイ式非接触式ウエハチャックを好評発売中。これにより、ウエハ裏面膜除去や、極薄100um以下レベルの基板処理が可能となります。ウエハ基板がチャックステージ上で窒素(エアーなど）により浮遊した状態でウエハ保持される為、ウエハ裏面処理では表面（パターン面）への薬液飛散がなく高歩留まり処理ができます。また、薬液処理中はウエハ基板に大きな力がかからないため、極薄基板ウエット処理が可能となります。半導体の３D積層化など、ますます薄厚化が進む将来に向け最適な装置です。

是非一度、お問い合わせください。御待ちしております。

平素より御世話になっております。MTKの松井です。

さて、弊社MTKの枚葉式洗浄装置とオゾン水生成機器をセミコン中国に出展いたします。

開催期間は3月15日～17日です(上海市）。

苏州北陆机械贸易有限公司さんとの共同出展となります

。ブース番号は3775です。

どちらの製品もコストパフォーマンスに優れたご購入しやすい製品となっております。両面同時洗浄や非接触ベルヌイチャックも対応可能な製品です。オゾン水機器はメタルフリーで最大オゾン濃度が35ppmです。日本にもデモ用製品を置いておりますので、是非、ご見学いただければ幸いです。

セミコン中国アドレス：http://www.semiconchina.org/

平素より御世話になっております。MTKの松井です。

さて、お待たせいたしました。

6インチサイズのSiCウエハとSiCインゴットの販売を開始いたしました。

今は、納期が長くてご迷惑をおかけいたしますが、春以降は、メーカでありますTankeblue社（北京市）の新工場が立ち上がりますので、納期も短くなると考えております。今後、多くのお客さまからの御注文が多くなることが予想されますので、皆様、お早めにご注文されることを御検討いただければと存じます。

新年明けまして、おめでとうございます。

皆様のおられる場所では、新年初日の天気は如何ですか。雪の地方もあるやと思います。ここ横浜では雲一つない快晴でございます。

さて、弊社MTKは、本年も、皆様からの声に真摯に耳を傾け、御期待にお応えしたいと思います。

インターネット技術の発達によるグローバル化のスピードが益々速くなってきており、ビジネスの世界では日々早い決断と対応こそが社運を決定するものと考えます。

また、先ずは自社よりも顧客皆様に喜んでもらえるようなサービス活動をしていきたいと考えております。

皆様にとって2016年がきっと良い年でありますように、微力ながら弊社は1日1日の積み重ねを大事に頑張ってまいります。

今後とも御指導、御鞭撻のほどよろしくお願いもうしあげます。

(株)MTK

代表取締役　松井淳

12/16から東京ビックサイトで開催されるセミコンJapanに、出展します。是非、ブースにお立寄り下さい。

今回は、洗浄装置、オゾン水生成機器、単結晶SiCウエハ・インゴットを展示します。

ブース番号は東棟5329です。金沢機工(株)さんとの共同出展です。

洗浄装置はコンパクトで高性能である特徴があります。

オゾン水生成機器は、これもコンパクトで、使いやすいものです。有機物やパーティクル除去に効果があります。

単結晶SiCは次世代のパワーLSI材料として期待されております。今回は、大口径な6インチサイズのウエハとインゴットを展示します。

今年は洗浄装置の引き合いが増えてきていて、嬉しい状況ですね。特に、単結晶SiCの問い合わせが増えていますね。MTKの洗浄装置は高性能でコンパクトであるのが好評です。ウエハ、基板の両面を同時に洗浄で出来たり、非接触式ベルヌイチャックもオプション出来たり、技術力には定評があります。デモサンプル処理も可能なので是非御連絡をいただければと思います。また、海外からも問い合わせがあり、装置導入の実績もあります。日本と文化が違うのか、価格よりも、とにかく早く納入してほしいと納期に厳しいですね。エピ膜関係の会社のニーズが多いですね。

今年に入り、SiCウエハ（SiC基板）の洗浄装置として、MTKに問い合わせが増加してきております。SiC洗浄装置としては、以前はバス式タイプが多く使われていたようですが、異物の清浄度の要求が

高くなってきて、枚葉式洗浄装置への期待が多くなってきたようです。

弊社でも、サンプル評価など、横浜にあるデモ装置で処理をしております。通常はアンモニア水（SC１）や塩酸が使用されますが、SiC表面は酸化しがたいため、弊社では高濃度のオゾン水で処理することも多いです。

オゾン水ですと、環境にも優しいので顧客からの要求も多くなってきました。フッ素に次いで酸化力が強いオゾン水で強制的にSiC表面を酸化させて洗浄します。これらの薬液以外に、2流体ジェットやブラシ洗浄などの

物理洗浄を加えると更に清浄度が向上できます。ぜひ、MTKの洗浄装置を活用していただけると、きっとお役にたてると思いますよ。

変な話ですが、私が、人生で、この人は天才だな～～　と思った人が４人います。今日は、その話をしたいです。

ひとりは、旭硝子時代に同じ部署で働かせていただいた木島さんという人。想像を絶する奇想天外な人でした。超ヘビースモーカしかも朝から酒のにおいがぷ～ん。実験ではクリーンルームで50度の環境条件を出すために電気ストーブを持ち込み部屋温度UP。隣りで、頭からすっぽり、厚手のクリーン着を着ながら別の実験をしていた私も、さずがに、上司に懇願。やめさせてくれ～～～。木島さん、実名だして、ごめんなさい。でも、分厚いガラスの専門書を1日で完読。うそでしょう～～～。でも本当でした。天才とバカとは紙一重そのものです。　2人目は、竹中平蔵先生。大学教授から政治家へ転身し、小泉内閣では大臣に抜擢。大学時代からテレビの討論番組の司会をされたことがたまにあり、瞬時に核心部分を把握してしまう。すごいと感じました。3人目は、作家なのかな、田坂広志先生。5年前かな、書店にあった、たしか、これから何が起こるかという本を読んだら、びっくり。　極めて深く考察されていると感じました。かないませ～～ん。

1週間前に久しぶりに田坂先生の本を見つけて、購入。新書の『人生で起きること　全て良いこと』はお勧めです。

最後は、斉藤一人さん。納税ランキング1位を何度も獲得している大金持ちの方です。マスコミには一切出なくて、書籍とかYouTubeとかに人が幸せになる方法を述べている方です。一度、読むなり聞いてみてください。

会社創立から今年で8年がたちますが、初めての株主総会を近日、開催します。

8年は、正にアッという間に過ぎ去りました。旭硝子、NEC時代の3倍の速さの感覚です。成果はハナハナダ不満ですが、それなりに充実していたのでしょう。

ここまで私に付いてきた社員と、お付合い頂いた全ての方々に感謝の気持ちで一杯です。ありがとうございました。

お陰様で幸せな人生です。これからも宜しく、じゃんじゃん働こうぜ。

最近の新聞で、中国の半導体大手、紫光集団が米半導体メモリー大手のマイクロン・テクノロジーに約２兆8400億円での買収を提案しているという、記事が出ました。マイクロンといえば、広島県にある、元々NECの

工場（旧エルピーダメモリ）も含まれます。私は元NECなのでマイクロン広島工場には多くの知り合いがおりますので、気になる記事です。私の勝手な予想では、買収は不調に終わる気がします。中国政府を敵対視している

米国政府が承認しないと思うからです。既に存在している半導体製造会社SMIC社の1社では規模が小さいのか？技術的に不足しているのか？　いずれにせよ、もし、今回のマイクロン買収が成功すれば、中国は加速度的に、韓国、台湾を抜いてアジアNo１の開発・製造国家へ進むでしょう。

というわけで、MTKとしても半導体用に、洗浄装置、オゾン水生成機器など中国市場への販売に力を入れないといけないと思いました。