SiCウエハ洗浄装置

今年に入り、SiCウエハ（SiC基板）の洗浄装置として、MTKに問い合わせが増加してきております。SiC洗浄装置としては、以前はバス式タイプが多く使われていたようですが、異物の清浄度の要求が

高くなってきて、枚葉式洗浄装置への期待が多くなってきたようです。

弊社でも、サンプル評価など、横浜にあるデモ装置で処理をしております。通常はアンモニア水（SC１）や塩酸が使用されますが、SiC表面は酸化しがたいため、弊社では高濃度のオゾン水で処理することも多いです。

オゾン水ですと、環境にも優しいので顧客からの要求も多くなってきました。フッ素に次いで酸化力が強いオゾン水で強制的にSiC表面を酸化させて洗浄します。これらの薬液以外に、2流体ジェットやブラシ洗浄などの

物理洗浄を加えると更に清浄度が向上できます。ぜひ、MTKの洗浄装置を活用していただけると、きっとお役にたてると思いますよ。